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变温压电测试主要应用领域

2021-01-07 10:47:01

  变温压电测试主要应用领域:无损检测超声检测,医疗超声检测,航空航天,石油天然器,汽车物联网,海军,工业,消费者程序等。

  应用特点:

  1、即可低温测试又可以进行高温度测试,高温达到900℃

  2、温度保温是关键,保温时间长,国内目前的设备只能停留10秒钟,区别于国内的其他的设备

  3、测量环境多样化:低温、高温、空气。

  4、软件数据进行数据保存和调取,方便研究。

  5、多种模块组合,功能强大

变温压电测试

传统的压电体材料及其工艺受尺寸的限制,难以适应现代电子器件微型化、小型化、集成化发展方向的要求。随着微观世界探索进程的加速,微机电系统(MEMS)飞速发展,迫切要求压电材料实现薄膜化,从而为相应微器件的设计和制作研究创造条件。目前基于压电薄膜已经开展了微型马达、微加速度计、微麦克风、微位移器、膜状传感器等微型器件的研究。国际上做出较大贡献的有美国明尼苏达的小组、宾夕法尼亚州立大学的S.Trolier-Mckinstr小组和瑞士的联邦技术研究院的P.Muralt小组等。如P.Muralt等人基于15~100μm厚的硅单晶上用溶胶-凝胶方法沉积出;1μm厚的PZT压电薄膜作定子,并采用激光切割的方法加工了直径2.5 mm的转子,制作了转速可达200 rad/s的压电微马达。在生物医疗领域,利用压电微马达驱动,可制备多自由度的手术钳,从而在很小的伤口(如小于10 mm)内,在内窥镜下进行复杂手术,该微创手术非常有利于病人的康复。此外,还可进行显微操作,如细胞分选、分类及其操作。

近年来,无线技术发展和低功耗的微型器件的不断涌现,能量收集技术引起了成为国内外学者研究的热点,美国国防部先进研究项目局还专门成立了能量回收项目组,资助从振动环境中收集能量技术的研究。麻省理工学院的Rajendra K.sood;等人设计了向微小无线传感器或主动标签供电的悬臂梁结构的压电微发动装置。长宽在300μm范围内悬臂梁主要由SiO2/ZrO2电子扩散阻挡层,PZT压电膜,顶部的Pt叉指电极层,以及SU-8胶制作的质量块组成。在13.7 kHz的一阶共振频率下、端部位移约3μm,可以输出1μW的电能,峰值电压达2.36 V,通过整流处理后,将电能储存在电容中。

2006年,美国《Science》杂志上报道了佐治亚理工学院的王中林领导的研究小组在纳米压电发动机上取得的重大研究成果。2009年他们又成功制作了利用生物活体带动的新型交流纳米发动机。剧烈跑动下的仓鼠,背部植入纳米压电发动机产生了高达200 mV的电源,为自我运转、远程无线操纵的生物探测器应用在携带式民用和军用设备上提供了广阔的前景。作为微机电系统MEMS用驱动源的压电薄膜,不仅要求工作电压低、重量轻、体积小、成本低、容易与半导体工艺兼容,而且还需要驱动器单位体积的输出力足够大,传感器的噪声小。研究表明,能胜任的只有微米级厚度的膜及多层膜,因此,近些年来1~10µm以至更厚的压电薄膜是国内外研究的热点和重要发展方向。压电薄膜的制备技术主要有复合溶胶-凝胶法、水热法、网版印刷法。不同制膜工艺对薄膜的内应力状态有影响,从而改变薄膜的性质。在衬底表面引入晶种能降低成膜的温度还可获得定向取向晶粒的薄膜。此外,高性能的PZT材料是压电薄膜的shou选。

墨尔本皇家理工大学的S.Sriram等人研究制备的(Pb0.92Sr0.08)(Zr0.65Ti0.35)O3薄膜的压电性能d33可达458-608 pC/N,远远高于ZnO压电薄膜,为高性能的器件设计提供了了很好的材料基础。值得注意的是,2004年美国《科学》杂志报道了美、德、中联合研制的高性能BaTiO3膜,实验中采用合适的衬底、控制膜的厚度,改变膜的应变,使得BaTiO3膜的居里温度从120℃度提高到400~540℃,剩余极化Pr达50~70μC/cm2,这一研究成果被认为是近10年来压电薄膜材料的重大发现之一,极大地鼓舞了今后无铅系统压电薄膜的研究发展。


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